0.224μm分解能の磁気式リニアエンコーダを採用。有効ストローク45ｍｍ間において上下方向1μｍの走り平行度を実現。テーブル厚みを22ｍｍに抑えた小型ステージです。モータは実績と信頼のあるリニアモータＭＳ09を用い、定格推力で約4Ｎ。有鉄芯モータながら低コギングやハンチングの少ない素直な特性を示します。またマグネット駆動でコイル固定なので動力ケーブルを引きずることなく空圧シリンダのようにすっきりとしたデザインが特徴です。もちろんご要望の設計や仕様にカスタマイズ可能です。