「リニアθモータ」

「リニアモータテーブル　IX-20A」

弊社オリジナルのリニアモータMS-16を搭載した精密一軸テーブルです。コイル固定でエンコーダヘッドをベースに埋め込むことでまったくのケーブルレスを実現しております。また固定子であるコイルに冷媒を循環することで強制的な冷却…

「IX-09S」

0.224μm分解能の磁気式リニアエンコーダを採用。有効ストローク45ｍｍ間において上下方向1μｍの走り平行度を実現。テーブル厚みを22ｍｍに抑えた小型ステージです。モータは実績と信頼のあるリニアモータＭＳ09を用い、定…